レーザー蒸発法により生成した多層サンドイッチクラスター正イオン（Ｖ_１Ｂｚ_２^＋等）を質量選別し、基板表面上に蒸着した。予め、基板上にアルゴン原子層を吸着させておくことにより、蒸着余剰エネルギーをアルゴン原子が飛散することにより緩和でき、比較的高速（５０ｅＶ）で蒸着しても解離せずにソフトランディングが実現できた。本発表では、赤外分光および昇温脱離法により詳細な蒸着エネルギー依存性を議論する。

The multiple decker sandwich clusters generated by laser vaporization method were mass-selected and were deposited to pre-adsorbed Ar thin layers. Since Ar atoms were sputtered with excess deposition energies,the deposited clusters were prevented from fragmentation (soft-landing). I will discuss on dependence of deposition energy in detail examined by FT-IR and TPD.