真空紫外超短パルスレーザーを用いた時間分解顕微光電子分光装置を製作した。レーザー光の高調波（パルス幅100fs,λ=140nm）を試料表面上に集光し、光電子を飛行時間型エネルギー分析器により検出した。30Kでの多結晶銅のフェルミ端の幅から求めたエネルギー分解能は、電子の運動エネルギー4eVにおいて、レーザーのスペクトル幅（18meV）に近い30meVであった。空間分解能は420nmの2光子光電子スペクトルにおいて波長限界に近い0 9μmが得られた。

Combining focused fs-VUV laser pulse and a Time-of-Flight analyzer, a time-resolved photoemission microspectrometer is constructed. The energy resolution of 30 meV, close to the bandwidth of the pulse, is achieved on the Fermi edge of polycrystalline copper at 30 K. Two-photon photoemission with 420 nm light has revealed the spatial resolution close to the diffraction limit.