表面吸着、溶液、生物系の試料の軟エックス線発光においては、発光の強度、試料の光照射によるダメージ等の観点から、分光器の検出効率が重要になってくる。われわれは、CCD検出器を用いたフラットフィールド型の軟エックス線発光分光器の設計を行った。この分光器は、検出器への分光光の入射角を適切な値に設定することや、検出器にCCDを用いることによって、高い検出効率を目指している。本発表では、発光分光器の設計、レイトレースによる性能評価、初期データなどについて報告する予定である。

As the soft X-ray emission intensity from adsorbate and liquid samples is low and biological samples are easily damaged by irradiation of soft X-ray, a spectrometer with high detection efficiency is required. We designed the flat field spectrometer with high detection efficiency. We will present a report of design and calcurating performances.